手机浏览器扫描二维码访问
杨玄在讲台讲的绘声绘色,台下一帮老教授和一群年轻学生听得纷纷惊愕。
吴德欣教授更是凝眉沉思,狐疑道:“小伙子,我记得……你的那份设计稿,是极深紫外线的沉浸式光刻技,怎么现在说起duv了?”
duv是深紫外线,而euv则是极深紫外线。
“吴老,您先别急,我下面就说euv技术了。”
杨玄微微一笑的,继续道:“还是先从世界商业机构开始谈。”
“1997年euvllc联盟成立以来,截止2003年,六年的时间,euvllc的科学家发表了几百篇论文,验证了euv光刻机的可行性,联盟解散!”
“但是,euv技术却已经开始在欧美国家立项、研发……”
“我现在给大家绘制一下,一个完整的euv光刻机,将涉及那些仪器。”
说着,杨玄转过身,拿起粉笔,在黑板,快速绘图。
从光源、物镜、工作台、光束矫正器、能量控制器、光束形状设置、遮光器、能量探测器、掩膜版、掩膜台、以及内部封闭框架减震器。
一共是十一个核心部件。
然而,其中却涉及到大量的核心技术,对于科学院而言,都是闻所未闻的。
和duv的光刻技术不同,euv的光源技术,必须配备能高端激光器。
毕竟,duv只能制造25n左右的ic芯片,然而euv却是可以制造个位数n。
哪怕是杨玄重生前,国产光刻机都没有成功交付duv光刻机,更别说十五年前的现在谈论euv了。
长达一个小时的绘图和注解列举完毕,杨玄又在“光源技术”四个字画了个圈。
转过身,拍了拍手,继续道:“诸位前辈,euv光刻机的核心技术,主要是在光源技术。”
“由于黑板太小,我就不详细写出来了,下面我尽量简单说一下,大家可以用笔记着。”
“目前,主要有4种方案可以获得euv光源……”
“分别是:同步辐射源、激光等离子体、放电等离子体和激光辅助放电等离子体。”
“同步辐射源的优点是可以产生高功率的euv光,而且它对光学原件无碎屑污染(另外三种方案都会产生碎屑),可以长时间稳定地输出euv光。”
“但是,过于复杂和庞大的装置构造,以及极其高昂的造价等都表明同步辐射源并不适用于hv生产。”
“这种源自同步加速器的装置,大小都是百米单位来算的。”
“激光等离子体,放电等离子体、和激光辅助放电等离子体都是通过高能量束使靶材产生较高的温升,从而产生高温、高密度的等离子体并发射euv光。”
“虽然它们的形成方法有所差异,但却可以使用相同靶材,常规用的是锡靶。”
“激光等离子体是以高强度的脉冲激光为驱动能源照射靶材,使靶材产生高温等离子体并辐射euv光。”
“其中,采用数十千瓦功率的激光从一圆孔进入打在液滴锡靶,产生的极紫外光通过多层介质膜反射镜反射汇聚在中心焦点处。”
偌大的教室内,一片肃静。
百名科学院师生,这一刻,无不全神贯注的听着。
未来机甲战神 四合院:我真的只想做个路人甲 把傲娇女王拐回家 枯木大圣 我真是镜鬼 征服从漫威开始 挂机成大佬 我在异世界成为血族真祖 萝莉执行委员会 在曹魏打工的日子 召唤猛将:我要当皇帝 我有戒指通未来 洪荒:编造遗愿清单,我终结封神 春风十里依旧是你 穿越未来之当家做主 大佬她五岁了 大神追妻的千层套路 联盟采访系统:我是联盟话事人 在下持美行凶一把手 重生九三:前夫,要逆袭
重生之金融猎手简介emspemsp关于重生之金融猎手当时间的指针回拨到十六年前,曾经那些遗憾悔恨的事情,一切都可以从头再来!重新站在05年的时间节点,苏越遥望着那些犹如星辉闪烁一样的历史机遇,决定踏着时代的浪尖前行,过一个完美的人生。...
穿越之郡主玩转古代简介emspemsp关于穿越之郡主玩转古代一朝穿越,陌灵从无父无母的孤儿,成为集万千宠爱为一身的小郡主。爹娘疼,姥姥姥爷疼,身后还跟着一个闷骚大冰山。开鸭店,玩雕刻,虐渣渣,且看陌灵如何玩转架空大陆。...
曾经的乞丐,因为命运的齿轮离开故土。在无数次死亡边缘徘徊中,他成长成了地下世界人王榜中的顶级杀手。回到阔别十五年的故土,一切故事又围绕着他展开了!...
(无CP大力女美食学习攒钱等退休)霍秀秀苦了三十年才终于迎来一丝盼头,却没想到因为一时兴起去雍和宫许愿就穿越了。面对这个一穷二白,爹死娘跑只剩一个弟弟的破家。本文进度较慢,家长里短,吃喝拉撒,想看女频龙傲天的可能要失望了…就是普通人的普通生活。...
试婚老公强势宠简介emspemsp女人,孩子都有了,你还想逃?男人的俊脸一点点靠近,腹黑狡黠。放开我,我我没怀孕!被逼到墙角的郁可可嘤嘤求饶。没怀?那你现在给我怀一个!郁可可替妹妹跟一个传言中瞎了的男人试婚几天,她以为可...
神医小娇娘山里汉,来生娃!简介emspemsp关于神医小娇娘山里汉,来生娃!好大好烫我吃不下了江微微张着樱唇,眸中泛着水雾。顾斐接过她手中的烤地瓜,无奈道吃不完就算了。他这个小娘子什么都好,就是太娇气。不过也没关系,他乐意宠...